Выполнен обзор отечественных и зарубежных работ по применению интенсивных импульсных электронных пучков для поверхностной обработки металлов, сплавов, металлокерамических и керамических материалов. Отмечены преимущества использования электронных импульсных пучков по сравнению с лазерными лучами, потоками плазмы, ионными пучками. Проанализированы перспективные направления использования электронно-пучковой обработки: 1 – выглаживание поверхности, избавление от поверхностных микротрещин с одновременным изменением структурно-фазового состояния поверхностного слоя для создания высокопроизводительных технологий финишной обработки ответственных металлических изделий сложной формы из титанового сплава Ti-6Al-4V и титана, сталей различного класса, твердого сплава WC – 10 % Сo, алюминия; 2 – удаление микрозаусенцев, образующихся при изготовлении прецизионных пресс-форм (сталь SKD11) и биомедицинских изделий (сплав Ti-6Al-4V); 3 – финишная обработка поверхности пресс-форм и штампов; 4 – улучшение функциональных свойств металлических биоматериалов (нержавеющей стали, титана и его сплавов, сплавов на основе никелида титана с эффектом памяти формы, сплавов магния; 5 – обработка изделий медицинского назначения и имплантатов; 6 – формирование поверхностных сплавов для мощных электродинамических систем; 7 – улучшение характеристик лопаток авиационных двигателей и лопаток компрессоров; 8 – формирование термобарьерных покрытий, наносимых на поверхность камер сгорания. Показано, что при правильном выборе параметров процесса, таких как ускоряющее напряжение, плотность энергии пучка электронов, количество и длительность импульсов, возможен тщательный контроль и/или манипулирование характеристиками структурно-фазового состояния и свойств поверхности. Отмечено, что для улучшения свойств материала и увеличения длительности эксплуатации изделий из него важным фактором является модификация структуры с целью формирования субмикро- или наноразмерного зерна (или субзеренной структуры).